centrotherm thermal solutions trägt mit Siliziumcarbid-Öfen zur Reduzierung der Treibhausgase bei

Barcelona, 10.09.2008

centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG ist dieser Tage auf der ECSCRM 2008 in Barcelona vertreten, der Europäischen Konferenz für Siliziumcarbid und verwandte Materialien. Das Unternehmen blickt auf ein erfolgreiches Jahr im Siliziumcarbid (SiC) Bereich. centrotherm thermal solutions hat im Jahr 2008 vier weitere Hochtemperaturanlagen zur Bearbeitung von SiC-Wafern verkauft – drei davon an Kunden in Europa, eine nach Japan.

centrotherm thermal solutions ist Anbieter von Prozessanlagen im Siliziumcarbid-Nischenmarkt. Das Unternehmen liefert zwei verschiedene Öfen für die Prozessierung von SiC-Wafern:

  • centrotherm Activator 150 – für SiC-Aktivierungs- und Annealing-Prozesse bis 1850° C
  • centrotherm Oxidator 150 – für die SiC-Oxidation bis 1400° C

SiC-Wafer werden zunehmend für die Produktion von Schottky-Dioden und MOSFETs (Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistoren) verwendet. Diese wiederum werden vor allem für Hochfrequenzanwendungen eingesetzt, da sie eine extrem schnelle Schaltleistung aufweisen und die Temperatur keine Auswirkungen auf die Schalteigenschaften hat. Daher sind vor allem Wechselrichter für die Solarbranche als auch industrielle Antriebsanwendungen Haupteinsatzgebiete. Die Vorteile SiC-basierter Bauteile im Vergleich zu bisher üblichen Silizium-basierten Bauteilen liegen auf der Hand:

  • Der Energieverlust von SiC-basierten Halbleitern entspricht einem Zehntel dessen von Silizium-basierten Halbleitern. Dadurch können beträchtliche Energieeinsparungen erzielt werden.
  • Siliziumcarbid hat eine drei mal höhere Wärmeleitfähigkeit (4,9W/cmK) als Silizium. Diese macht das Bauteil effizienter und weniger hitzeanfällig. Daher sind nicht so aufwändige, energie-, platz- und kostenintensive Kühlsysteme notwendig.
  • SiC ist hitzebeständig bis 600° C. Dies eröffnet neue Einsatzmöglichkeiten für anspruchsvolle Anwendungen bei extremen Bedingungen, z.B. für die neue Generation von Abgassystemen im Automobilbereich.

“Zahlreiche Kunden weltweit haben sich für die centrotherm SiC-Hochtemperaturöfen entschieden, weil die Systeme hohe Flexibilität mit erprobter Prozessqualität vereinen” , so Uwe Keim, Produktmanager SiC bei der centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG. “Darüber hinaus bietet centrotherm thermal solutions nicht nur für den Elektronik- und Automobilbereich sondern auch für kleinere Institute erschwingliche Lösungen”, fügt er hinzu.

Centrotherm thermal solutions hat seit über 30 Jahren Erfahrung in der Entwicklung und Produktion von Halbleiterfertigungsanlagen – seit über sieben Jahren ist das Unternehmen im SiC-Markt aktiv. centrotherm pflegt in diesem Bereich eine enge Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) in Erlangen.

Sowohl centrotherm Activator 150 als auch centrotherm Oxidator 150 sind in zwei Ausführungen erhältlich: Mit einer Batch-Größe von bis zu 5 Wafern für Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen oder mit einer Batch-Größe bis zu 50 Wafern für die Serienfertigung. Die Anlagen sind äußerst flexibel und ausgelegt für Wafergrößen von 2“, 3“, 100mm bis zu 150mm, wobei die Wafergrößen auch beliebig kombiniert werden können. Dies ermöglicht dem Kunden, in einem einzigen Prozess verschiedene Substratgrößen zu kombinieren, wodurch wiederum die gesamten Prozesskosten um mehr als den Faktor fünf gegenüber vergleichbaren Standardanlagen pro Prozess gesenkt werden können. Dadurch ergibt sich eine Vielzahl an Anwendungsmöglichkeiten. centrotherm liefert nicht nur die Anlagen sondern je nach Kundenwunsch auch die passenden Prozesse dazu.

Auf der ECSCRM 2008, die vom 7. bis 11. September 2008 im Axa Auditorium in Barcelona stattfindet, wird centrotherm thermal solutions die neuesten Lösungen und technologischen Fortschritte vorstellen, und sich mit SiC-Experten aus aller Welt über die neuesten Trends im Siliziumcarbid-Markt austauschen.

  • Activator 150
  • Oxidator 150
  • SiC Anwendungen

Über centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG

centrotherm thermal solutions konstruiert, produziert und vertreibt seit über 30 Jahren hochentwickelte Anlagen für thermische Halbleiter- und Photovoltaikprozesse sowie die Bauelementeproduktion. Die Produktpalette umfasst Horizontal- und Vertikalöfen, Durchlauföfen, Vakuumlötöfen sowie Prozesstechnologie. Dabei werden Anlagen für den Photovoltaikbereich exklusiv über die Schwestergesellschaft centrotherm photovoltaics AG angeboten.

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